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1051 人阅读发布时间:2025-06-26 13:46
文章已发表在SCI期刊Applied Surface Science(最 .新中科院SCI期刊分区:材料科学2区,IF 6.3),评论可以沾沾好运~

标题为:Highly reflective porous SiC with layered nanostructures formed by electrochemical etching

本文报道了一种具有自发层状纳米结构的高反射多孔碳化硅材料。该材料在大部分可见光范围内表现出高反射率(R > 90%),其制备通过氢 .氟酸/乙醇溶液阳极电化学蚀刻实现。观察到的形貌特征证明了稀氢 .氟酸溶液形成独特层状纳米结构的能力。计算机模拟的多层干涉效应能够解释观察到的高反射现象。
此外,基于X射线光电子能谱对表面化学的研究,我们建立了对蚀刻机制的全面理解。通过拉曼光谱和X射线衍射验证了尺寸效应,同时报道了光致发光和阴极发光对荧光特性的测量。这种热稳定性优异的碳化硅反射器的成功制备,在光电子器件和传感器领域具有潜在应用价值。



图2. 电化学蚀刻制备的多孔SiC材料(呈现亮白色外观)。

图3. (a-d)制备的多孔SiC的EDS面分布分析及(e)EDS能谱。

图5. 多孔层与裸晶圆的反射光谱对比。

图8. 电化学刻蚀反应机理示意图。

图10. 4H-SiC的XRD谱图对比(多孔层与裸晶圆)。

图11. 4H-SiC裸晶圆与多孔层的XRD织构分析综合极图(红色圆点标示典型晶向)
综上所述,我们通过电化学方法成功制备出具有高反射率(R > 90%)的多孔碳化硅材料,该材料可自发形成层状纳米结构。
本研究对这一新发现的高反射率多孔碳化硅进行了全面表征,包括微观结构和表面化学特性的详细分析。通过建立近似实际微观结构的光学模型,计算机模拟结果与实测反射光谱高度吻合。
基于碳化硅固有的热稳定性和化学稳定性,此类反射纳米结构在光电器件领域具有重要应用潜力,包括宽温域漫反射器和化学传感器等。


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